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簡要描述：AVI-400 主動減振臺采用分體式隔振單元與控制器，適用于 AFM、SEM、干涉儀、三維表面輪廓儀等高分辨率設(shè)備。適用于 AFM、SEM、激光干涉儀、非接觸三維表面輪廓儀、微硬度測試及微觀檢測設(shè)備。系統(tǒng)采用分體式隔振單元與控制器設(shè)計(jì)，主動隔振范圍約 1 至 200 Hz，200 Hz 以上提供被動隔振，可為科研、生產(chǎn)與精密測量場景提供穩(wěn)定低振動環(huán)境。
產(chǎn)品型號：AVI-400 系列廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-07-04訪 問 量：6詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 |
|---|---|---|---|
| 隔振技術(shù) | 壓電主動式 | 主動隔振范圍 | 1–200 Hz（0.5 Hz 配 LFS） |
| 被動隔振范圍 | 200 Hz 以上 | 隔振自由度 | 6 |
| 系統(tǒng)噪聲 | < 50 nG/√Hz | 電源需求$ | 90–125 / 200–250 VAC，50–60 Hz$ |
AVI-400 主動減振臺 是面向電子顯微鏡及大型精密研究儀器的模塊化低剖面主動隔振平臺，適用于 SEM、TEM、UHV-SPM、光刻設(shè)備、高精度計(jì)量與光譜儀器等低頻振動敏感場景。系統(tǒng)采用壓電傳感器、壓電致動器與控制電子單元，覆蓋六個自由度振動隔離；標(biāo)準(zhǔn)主動隔振范圍為 1 至 200 Hz，200 Hz 以上由機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行被動衰減，搭配 LFS-3 可將低頻隔振能力延伸至 0.5 Hz。平臺提供 AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL 三種標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格，標(biāo)準(zhǔn)雙隔振器配置承載約 636 至 909 kg，并可通過多隔振器方案支持更高載荷。
平臺提供三種標(biāo)準(zhǔn)尺寸（AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL），覆蓋從緊湊型儀器到大型設(shè)備的安裝需求。通過增加隔振器數(shù)量（如四隔振器配置），可支持更高載荷和更大尺寸的定制方案。
AVI-400 主動減振臺采用壓電傳感器與致動器組成的閉環(huán)主動控制系統(tǒng)：高靈敏度壓電傳感器實(shí)時檢測平臺在六個自由度（X/Y/Z 平移 + 繞三軸旋轉(zhuǎn)）上的振動加速度，控制器在毫秒級時間內(nèi)計(jì)算出反向補(bǔ)償信號，驅(qū)動壓電致動器產(chǎn)生等幅反向的抵消力，從而主動抑制環(huán)境振動向儀器的傳遞。
該技術(shù)的關(guān)鍵性能指標(biāo)：
主動隔振范圍：1–200 Hz（搭配 LFS 低頻傳感器系統(tǒng)可延伸至 0.5 Hz）
被動隔振范圍：大于 200 Hz（通過機(jī)械結(jié)構(gòu)固有特性衰減）
振動傳遞率：10 Hz 以上低于 0.017（即衰減大于 98%）
系統(tǒng)本底噪聲：低于 50 nG/√Hz
AVI-400 在低頻段（1–10 Hz）的表現(xiàn)尤為突出：傳統(tǒng)被動式氣浮平臺在低頻段因固有頻率限制而難以有效衰減振動（被動隔振有效區(qū)域從固有頻率的 √2 倍開始），而 AVI-400 的主動控制系統(tǒng)可以從 1 Hz 開始即提供有效隔振，搭配 LFS 系統(tǒng)可進(jìn)一步延伸至 0.5 Hz，有效彌補(bǔ)了被動隔振方案在低頻段的不足。
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 分體式隔振單元與控制器 |
| 主動控制范圍 | 約 1.0 至 200 Hz |
| 被動控制范圍 | 約 200 Hz 以上 |
| 承載能力 | 最高 800 kg，需均勻載荷且低重心 |
| 控制器尺寸 | 241 × 287 × 142 mm |
| 輸入電壓 | 90 至 125 VAC 或 200 至 250 VAC，50 至 60 Hz |
| 功耗 | 典型 18 W |
| 使用溫度 | 5 至 40 ℃ |
| 相對濕度 | 10 至 90%，5 至 30 ℃；10 至 60%，30 至 40 ℃ |
| 使用環(huán)境 | 僅限室內(nèi)使用 |
| 監(jiān)測功能 | 可輸出隔振前后振動監(jiān)測信號，LED 顯示過載狀態(tài) |
| 型號 | 單個隔振單元尺寸 | 單個隔振單元重量 |
|---|---|---|
| AVI-400S/LP | 190 × 396 × 112.5 mm | 約 15 kg |
| AVI-400M/LP | 190 × 720 × 112.5 mm | 約 20 kg |
| AVI-400XL/LP | 230 × 856 × 112.5 mm | 約 24 kg |
注：請聯(lián)系廠商了解定制方案。
掃描電子顯微鏡（SEM）
透射電子顯微鏡（TEM）
聚焦離子束系統(tǒng)（FIB）
光刻設(shè)備
高精度三坐標(biāo)測量機(jī)（CMM）
激光干涉儀系統(tǒng)
| 頻率（Hz） | 無隔振（dB） | AVI-400 隔振后（dB） | 衰減量（dB） |
|---|---|---|---|
| 2 | 參考 | 參考 - 20 | 大于 20 |
| 5 | 參考 | 參考 - 35 | 大于 35 |
| 10 | 參考 | 參考 - 40 | 大于 40 |
| 20 | 參考 | 參考 - 50 | 大于 50 |
| 50 | 參考 | 參考 - 55 | 大于 55 |
圖: Hitachi S-4800 SEM 搭配 AVI-400 主動隔振平臺
LFS（Low Frequency Sensor）系統(tǒng)是 AVI-400 的可選升級模塊，可將主動隔振范圍從 1 Hz 向下延伸至 0.5 Hz，進(jìn)一步抑制極低頻段（0.5–1 Hz）的環(huán)境振動。該模塊通過更高靈敏度的低頻傳感器替代標(biāo)準(zhǔn)傳感器，適用于對亞赫茲級振動特別敏感的應(yīng)用場景（如超高分辨率 TEM、原子級成像等）。LFS 系統(tǒng)與 AVI-400 控制器直接集成，安裝簡便。
注：更多信息，請聯(lián)系我們了解定制方案。
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